> 제품소개 > Membarane Air Spring

MEMBRANE을 응용한 AIR SPRING 구조로 제작 되어 있다.
95% 이상의 진동차단 효과가 있다.
정밀수평 유지 SENSOR로 0.01mm까지 정밀 수평 유지가 가능하다.
수직방향의 고유진동수가 최저 1.2Hz로서 거의 모든 진동을 차단한다.
삼차원측정기, 전자현미경, 광학기기
반도체 제조장비, 반도체 검사장비
ENGINE DYNAMO METER
레이저 가공, 절단, 용접기
외부로부터 미세한 진동차단이 요구되는 기계
Type
Amm
Bmm
Cmm
work
height
Hmm
max.
load
(kg)
at
max.6
bar
natural
frequency
Hz
(vertical)
approx.
natural
frequency
Hz
(horizontal)
approx.)
BiAir 0.15- ED
76
72
72
69
80
2.5
2.5
BiAir 0.25- ED
110
182
110
87
140
2.5
2.5
BiAir 0.5- ED
120
219
129
157
340
2.5
2.5
BiAir 1-ED
172
288
200
157
750
2.5
2.5
BiAir 1-ED/HE
172
288
200
307
750
1.5
2.5
BiAir 2-ED
226
335
260
157
1800
2.5
2.5
BiAir 2-ED/HE
226
335
260
307
1800
1.5
2.5
BiAir 3-ED
348
467
382
157
4500
2.5
2.5
BiAir 3-ED/HE
348
467
382
307
4500
1.5
2.5
BiAir 4-ED
490
605
530
157
9500
2.5
2.5
BiAir 4-ED/HE
490
605
530
307
9500
1.5
2.5
BiAir 5-ED
747
815
760
157
23000
2.5
2.5
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